Высокоточные цилиндрические двигатели звуковой катушки 44N для полупроводникового оборудования

Обзор продукции

VCAR0044-0075-00A - это цилиндрический голосовой катушный двигатель, специально разработанный для достижения высокой точности позиционирования.Этот двигатель голосовой катушки обеспечивает прямое линейное движение с пиковой тягой 44N над 7.5 мм ход и достигает разрешения позиционирования 0,5um при использовании в замкнутом цикле управления с линейным кодером.
Конструкция бесконтактного движущегося катушки исключает обратную реакцию, коггинг и гистерез, что позволяет двигателю удерживать свое положение и неоднократно возвращаться в одно и то же место.жесткий путь движения и низкая движущаяся масса обеспечивают системе высокую механическую пропускную способность, помогая серво-схеме подавлять нарушения и быстро стабилизироваться.
Этот двигатель с голосовой катушкой изготавливается с использованием деталей с высокой точностью и сбалансированной магнитной схемы для поддержания низкой силовой колебания.Площади высокоточного грунтового направляющего рельса и соответствующие магниты поддерживают силовое колебание ниже 1% от номинального значения выхода на протяжении всего ходаЭто идеальный компонент для микрометрового выравнивания, инспекции или измерительного оборудования.

Решение

Ошибки позиционирования в прецизионном оборудовании, как правило, возникают из-за обратной реакции, трения между палками, теплового дрейфа и механического резонанса.Моторы голосовой катушки полностью устраняют первые два источника ошибок: нет никаких зубов или свинцовых винтов, которые могли бы вызвать обратную реакцию, и конструкция бесконтактной катушки означает, что нет никакого статического трения.Оставшиеся ошибки контролируются с помощью системы с замкнутым циклом, которая включает линейный кодер высокого разрешения, который обеспечивает прямую обратную связь с фактическим положением нагрузки.
Поскольку сила пропорциональна течению, сервосистема может точно применить точное количество силы для достижения шагового движения на 0,5 микрометра или поддержания стабильного положения под нагрузкой.Результатом является ось движения с точностью до микрометра, свободный от износа, и постоянная производительность в течение миллионов циклов.
Поскольку отсутствует трение, эффекты скольжения с помощью палочек - распространенная причина дрожания на традиционных этапах - не возникают даже при чрезвычайно низких скоростях.Это решение увеличивает пропускную способность при одновременном сокращении отходов и переработки.

Спецификации

Применение

Типичные применения: это выравнивание полупроводниковых пластин, фотоника и выравнивание волокон, позиционирование лазерной головки обработки, фокусировка Z-оси в микроскопах, высокоточные измерительные платформы,проверка масок, и расположение медицинского устройства.
Этот исполнительный механизм голосовой катушки также используется в системах автоматической фокусировки для промышленных камер и для точного управления клапанами в аналитических приборах.Любое короткое время движения задачи, требующих субмикронного разрешения и стабильного положения удержания возможностей могут извлечь выгоду из этого привода.

Частые вопросы

Вопрос: Как достигается разрешение 0,5 мм?
О: разрешение происходит от сочетания двигателя голосовой катушки без трения и линейного кодера высокого разрешения в закрытой сервосплаве.и двигатель плавный выходной силы позволяет одноступенчатые движения 0.5мм.

Вопрос: Какие факторы влияют на повторяемость?
A: Повторяемость зависит в основном от качества кодера, серво-настройки и тепловой стабильности.так что механическая повторяемость остается неизменной на протяжении всего срока службы двигателяРегулярная калибровка кодера - единственное рекомендуемое рутинное обслуживание.

Вопрос: Может ли двигатель удерживать положение при включении?
О: Да. В замкнутом цикле серво может удерживать катушку в любом положении в течение хода, сбалансируя силу против нагрузки.

Вопрос: Могу ли я получить настраиваемый ход или вариант кодера?
Ответ: Да. SUPT MOTION может регулировать удар, силу, напряжение и тип кодера.