Все продукты
Контактное лицо : JACK
Номер телефона : 86-13776067853
WhatsAPP : +8613776067853

Высокоточный линейный двигатель с голосовой катушкой для микроперемещений в полупроводниковой промышленности

  • High Response Precision Linear Voice Coil Motor For Semiconductor Micro Motion Control
  • High Response Precision Linear Voice Coil Motor For Semiconductor Micro Motion Control
  • High Response Precision Linear Voice Coil Motor For Semiconductor Micro Motion Control
Место происхождения фарфор, Сучжоу
Фирменное наименование SUPT MOTION
Сертификация ISO9001,CE,3C
Номер модели Серия VCAB
Количество мин заказа 1 шт.
Цена $110-$160
Упаковывая детали Специализированная упаковка и т.д.
Время доставки 1-5 штук, 5 дней. >20 штук, подлежит переговорам
Условия оплаты Т/Т
Поставка способности быть предметом переговоров

Свяжитесь я бесплатно образцы и талоны.

WhatsAPP:0086 18588475571

WeChat: 0086 18588475571

Skype: sales10@aixton.com

Если вы имеете любую заботу, то мы предусматриваем 24-часовую интерактивную справку.

x
Подробная информация о продукте
Гарантия 3 месяца-1 год Модель продукта ВКАБ0262-0112-00А
вес ((g) 285 Пиковая сила (N) 262
Общий ход (мм) 11.2 Максимальное напряжение (V) 35.1
Приложение Автоматический продукт Точность позиционирования Высокий
Тип продукта линейный мотор катушки голоса Коммутация Щетка
Непрерывная сила ((N) 111N Тип Компакт
Оставьте сообщение
Характер продукции

Описание продукта:

В процессах производства полупроводников, таких как обработка пластин, литография, инспекция и упаковка, микропозиционное управление требует чрезвычайно высокой точности, быстрой реакции и долговременной стабильности. Линейные двигатели с голосовой катушкой, отличающиеся прямым приводом и превосходными динамическими характеристиками, стали идеальным решением для микроперемещения в полупроводниковом оборудовании.

Линейные двигатели с голосовой катушкой генерируют тягу непосредственно через электромагнитную силу, обеспечивая линейное движение без трения и люфта с разрешением на уровне микрометров или даже нанометров. По сравнению с традиционными механизмами с винтовой передачей или сервоприводом, линейные двигатели с голосовой катушкой обеспечивают превосходную точность позиционирования и повторяемость в пределах коротких диапазонов хода. Они особенно хорошо подходят для выравнивания пластин, оптической фокусировки, управления контактом зонда и прецизионных позиционных столов.

В высокоскоростных сканирующих и динамических компенсационных приложениях линейные двигатели с голосовой катушкой обеспечивают высокое ускорение и высокочастотную реакцию, позволяя точно отслеживать команды управления и эффективно компенсировать системные ошибки и внешние возмущения. Их плавное движение с низкой вибрацией помогает минимизировать нарушения процесса при изготовлении микроструктур и обеспечивает стабильную производительность процесса.

Особенности:

  • Разрешение перемещения на уровне субмикрон или нанометров
  • Высокоскоростная, высокополосная динамическая реакция
  • Исключительная повторяемость и долговременная стабильность
  • Нулевой люфт, низкая вибрация и движение без частиц
  • Совместимость с чистыми помещениями ISO 4–5
  • Отсутствие винтовых передач, шестерен и люфта
  • Отсутствие гистерезиса в реакции перемещения
  • Высокая полоса пропускания управления для управления положением, скоростью и силой в замкнутом контуре
  • Чрезвычайно низкая вибрация и акустический шум

Высокоточный линейный двигатель с голосовой катушкой для микроперемещений в полупроводниковой промышленности 0

Параметры продукта:

Модель продукта Пиковое усилие
(Н)		 Непрерывное усилие
при 25℃(Н)		 Общий ход
(мм)		 Максимальное напряжение
(В)		 Постоянная противоЭДС
(В/м/с)		 Вес катушки
(г)		 Диаметр статора Резьба на конце вала
(мм)
VCAB0005-0039-00A 5 1.5 3 5.4 0.9 23 29.5 M2(Внешняя)
VCAB0005-0050-00A 5 2.2 3.9 14.5 3.1 27 31.5 M2.5(Внешняя)
VCAB0013-0072-00A 13 4.2 7.2 26.6 5.72 16.2 26.2 M3(Внешняя)
VCAB0015-0062-00A 15 6.5 6.2 26.2 9.75 14.8 33 M3(Внешняя)
VCAB0015-0127-00A 15 4.9 12.7 21.5 4.1 12.5 30.5 Вал ∮4.8
VCAB0022-0098-00A 22 6.6 9.8 24.7 5.8 20 34.1 M3(Внешняя)
VCAB0022-0448-00A 22 11.4 44.8 14.3 4 52 48 M3(Внутренняя)
VCAB0032-0050-00A 32 8.9 5 29.3 7.1 48 40 M3(Внутренняя)
VCAB0033-0099-00A 33 8 9.9 24.3 5.87 23.5 36 M3(Внешняя)
VCAB0033-0224-00A 33 13.5 22.4 26.7 6.8 69 58 M3(Внутренняя)
VCAB0035-0105-00A 35 15.6 10.5 11.9 5 91 50 M3(Внутренняя)
VCAB0044-0040-00A 44 16.3 4 18.3 8.9 46.5 53 M3(Внутренняя)
VCAB0044-0059-00A 44.1 17.7 5.9 14.3 8 43 46 M3(Внутренняя)
VCAB0044-0075-00A 44 13.7 7.5 16.8 7.6 38.6 31.1 M3(Внешняя)
VCAB0044-0249-00A 44 11.7 24.9 44.9 8.88 65.9 38.1 M3(Внутренняя)
VCAB0070-0149-00A 70 27.3 14.9 26.9 17.7 79 43 M3(Внутренняя)
VCAB0087-0062-00A 87 21.67 6.2 34.5 12.7 45.2 43.1 M3(Внутренняя)
VCAB0087-0563-00A 87 17.5 56.3 63.4 8.1 177 72 вал ∮10
VCAB0088-0191-00A 88.5 23.2 19.1 29.9 8 162 50.8 M3(Внутренняя)
VCAB0105-0164-00A 105 35.4 16.1 20.1 11.5 150 60.4 M3(Внутренняя)
VCAB0113-0089-00A 113 35 8.9 31 17.5 125 73 вал ∮8
VCAB0262-0112-00A 262 111 11.2 35.1 41 285 71 вал ∮10
VCAB0262-0249-00A 262 112 24.9 28.2 26 785 66 вал ∮8
VCAB0294-0498-00A 294 56.8 49.8 114 24.5 685 93 вал ∮10
VCAB0436-0187-00A 436 147.6 18.7 40.7 40.7 648 80.4 вал ∮10
VCAB0436-0250-00A 436 167 25 31.6 37.2 775 78.4 вал ∮10
VCAB0445-0300-00A 445 185 30 33 35 920 76.2 вал ∮10

 

Применения:

  1. Выравнивание пластин и позиционные столы
  2. Фокусировка литографии и компенсация высоты
  3. Z-ось станции зондирования и управление контактом
  4. Высокоскоростные сканирующие приводы AOI / AVI
  5. Микросборка для склейки кристаллов и упаковки
  6. Прецизионные системы дозирования и микродозирования

Высокоточный линейный двигатель с голосовой катушкой для микроперемещений в полупроводниковой промышленности 1

 

 

 

Бирки:

2500N линейный голосовой катушный двигатель

Высокоразрешительный линейный голосовой катушный двигатель

Линейный голосовой исполнитель с высокой грузоподъемностью

Порекомендованные продукты